摘要：本文采用聚焦离子束法（Focused Ion Beam,FIB）对〈110〉取向铱（Ir）单晶进行切割,加工出直径为400~3000nm的微柱样品,随后在带有平压头的纳米压痕仪上进行压缩试验来研究其力学行为。Ir单晶微柱压缩的工程应力-应变曲线表明,流变应力随着微柱直径的减小而增加,即存在＂尺度效应＂,且流变应力与微柱直径符合幂律关系,同时工程应力-应变曲线上出现了离散的＂应变陡增＂,利用＂位错匮乏＂机制能够对这种现象进行较好的解释。微柱压缩变形后的扫描电镜（SEM）图像表明微柱的滑移方式为多滑移,并且滑移与微柱直径相关。